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高纯气体定要符合两个条件

1、主体成分含量定压大于某特定值。

2、各杂质组分含量定要小于某特定值。

电子工业用气、仪器仪表校准用的零点气、标准气配制用气、色谱载气等均需符合以上要求, 可列为高纯气体。

高纯气体的纯度= 主体成分含量= 1-∑ 杂质含量。实际上, 用实验的方法直接准确测定高纯气体中主体成分含量是很困难的。高纯气体对于运输的管材要求有哪些使得管材内表面金属也会发作必定的粉末，这种金属粉尘粒子相同污染管内纯真的气体。既使象二氧化碳这类产品, 可以通过规定的方法, 直接测定得到“纯度值”, 但该值也包含有水分、酸性气体及其它与强碱作用的成分。所以说, 该“纯度”也并非理论意义上的气体纯度。

高纯三氟化氮的基础介绍及行业应用

是非常良好的清洗剂，同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用。

用途：三氟化氮主要用途是用作－氟化气高能化学激光器的氟源，在h2-O2 与F2之间反应能的有效部分（约25%）可以以激光辐射释放出，所 HF-OF激光器是化学激光器中有希望的激光器。1MPa四、抽空5~15分钟后五、关闭抽空总阀六、开启通气阀，不要抽空管路过油七、关闭真空泵，抽空结束。三氟化氮是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体，对硅和氮化硅蚀刻。

受高热发生剧烈分解，甚至发生。大鼠吸入1000ppm·l小时末见，但出现高铁血红蛋白血症，当吸入10000ppm·l小时有，在2500ppm时后4小时。容许浓度：10ppm(29mg/m3)。

消防措施：

强氧化剂。受热或与火焰、电火化、有机物等接触能燃烧，甚至。与物（如苯）和可燃物（如糖、纤维素等）接触会发生剧烈反应，甚至引起燃烧。